GX600

این تجهیزات ساختار درب جلوی عمودی و طرح خوشه ای را اتخاذ می کند.این می تواند به منابع تبخیر برای فلزات و مواد آلی مختلف مجهز شود و می تواند ویفرهای سیلیکونی با مشخصات مختلف را تبخیر کند.مجهز به سیستم تراز دقیق، پوشش پایدار است و پوشش تکرارپذیری خوبی دارد.
تجهیزات پوشش GX600 می توانند به طور دقیق، یکنواخت و کنترل شده مواد آلی ساطع کننده نور یا مواد فلزی را بر روی بستر تبخیر کنند.دارای مزایای تشکیل فیلم ساده، خلوص بالا و فشردگی بالا است.سیستم نظارت تمام اتوماتیک ضخامت فیلم می تواند تکرارپذیری و پایداری فرآیند را تضمین کند.مجهز به عملکرد خود ذوب برای کاهش وابستگی به مهارت های اپراتور است.
این تجهیزات را می توان روی مس، آل، کو، کروم، طلا، نقره، نیکل، تیتانیم و سایر مواد فلزی اعمال کرد و می تواند با فیلم فلزی، فیلم لایه دی الکتریک، فیلم IMD و غیره پوشش داده شود. عمدتاً در نیمه هادی ها استفاده می شود. صنایع مانند دستگاه های قدرت، پوشش زیر لایه بسته بندی نیمه هادی و غیره.