GX600

Тоног төхөөрөмж нь урд хаалганы босоо бүтэц, кластерийн зохион байгуулалтыг ашигладаг.Энэ нь металл болон янз бүрийн органик материалыг ууршуулах эх үүсвэрээр тоноглогдсон байж болох бөгөөд янз бүрийн үзүүлэлттэй цахиурын ялтсуудыг ууршуулж болно.Нарийвчлалтай тэгшлэх системээр тоноглогдсон, бүрэх нь тогтвортой, бүрэх нь сайн давтагдах чадвартай.
GX600 бүрэх төхөөрөмж нь органик гэрэл ялгаруулдаг материал эсвэл металл материалыг субстрат дээр нарийвчлалтай, жигд, хяналттай ууршуулж чаддаг.Энэ нь энгийн хальс үүсгэх, өндөр цэвэршилт, өндөр нягтрал зэрэг давуу талуудтай.Киноны зузааныг хянах бүрэн автомат систем нь процессын давтагдах байдал, тогтвортой байдлыг хангаж чадна.Энэ нь операторын ур чадвараас хамаарах хамаарлыг багасгахын тулд өөрөө хайлуулах функцээр тоноглогдсон.
Тоног төхөөрөмжийг Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti болон бусад металл материалд хэрэглэж, металл хальс, диэлектрик давхарга, IMD хальс гэх мэт бүрэх боломжтой. Энэ нь голчлон хагас дамжуулагчд ашиглагддаг. эрчим хүчний төхөөрөмж, хагас дамжуулагч арын савлагааны субстратын бүрээс гэх мэт үйлдвэрүүд.