GX600

Тоног төхөөрөмж нь босоо урд хаалганы бүтэц болон кластерын байршлыг ашигладаг. Металл болон янз бүрийн органик материалын ууршуулах эх үүсвэрээр тоноглогдсон бөгөөд янз бүрийн үзүүлэлттэй цахиурын вафлиг ууршуулж чаддаг. Нарийвчлалтай тэгшлэх системээр тоноглогдсон тул бүрхүүл нь тогтвортой бөгөөд бүрхүүл нь сайн давтагдах чадвартай.
GX600 бүрэх төхөөрөмж нь органик гэрэл ялгаруулдаг материал эсвэл металл материалыг суурь дээр нарийвчлалтай, жигд, хяналттайгаар ууршуулж чаддаг. Энэ нь хальс үүсгэхэд хялбар, өндөр цэвэршилттэй, өндөр нягтралтай давуу талуудтай. Бүрэн автомат хальсны зузааныг бодит цагийн хяналтын систем нь үйл явцын давтагдах байдал, тогтвортой байдлыг хангаж чадна. Энэ нь операторын ур чадвараас хамаарлыг бууруулахын тулд өөрөө хайлах функцээр тоноглогдсон.
Тоног төхөөрөмжийг Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti болон бусад металл материалд хэрэглэж болох бөгөөд металл хальс, диэлектрик давхаргын хальс, IMD хальс гэх мэтээр бүрж болно. Үүнийг голчлон цахилгаан төхөөрөмж, хагас дамжуулагчийн арын савлагааны суурь бүрхүүл гэх мэт хагас дамжуулагчийн үйлдвэрлэлд ашигладаг.