GX600

Oprema usvaja vertikalnu strukturu ulaznih vrata i raspored klastera.Može biti opremljen izvorima isparavanja metala i raznih organskih materijala, te može ispariti silikonske pločice različitih specifikacija.Opremljen preciznim sistemom poravnanja, premaz je stabilan i premaz ima dobru ponovljivost.
Oprema za premazivanje GX600 može precizno, ravnomjerno i kontrolirano isparavati organske materijale koji emituju svjetlost ili metalne materijale na podlogu.Ima prednosti jednostavnog formiranja filma, visoke čistoće i visoke kompaktnosti.Potpuno automatski sistem za praćenje debljine filma u realnom vremenu može osigurati ponovljivost i stabilnost procesa.Opremljen je funkcijom samotaljenja kako bi se smanjila ovisnost o vještinama operatera.
Oprema se može primijeniti na Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti i druge metalne materijale, a može se obložiti metalnim filmom, filmom dielektričnog sloja, IMD filmom, itd. Uglavnom se koristi u poluprovodnicima industrije, kao što su uređaji za napajanje, premaz podloge za stražnju poluvodičku ambalažu, itd.