จีจี600

อุปกรณ์นี้ใช้โครงสร้างประตูหน้าแนวตั้งและการจัดวางแบบคลัสเตอร์ สามารถติดตั้งแหล่งระเหยสำหรับโลหะและวัสดุอินทรีย์ต่างๆ และสามารถระเหยแผ่นเวเฟอร์ซิลิคอนที่มีขนาดต่างๆ ได้ ด้วยระบบจัดตำแหน่งที่แม่นยำ ทำให้การเคลือบมีความเสถียรและสามารถทำซ้ำได้ดี
เครื่องเคลือบ GX600 สามารถระเหยสารเรืองแสงอินทรีย์หรือวัสดุโลหะลงบนพื้นผิวได้อย่างแม่นยำ สม่ำเสมอ และควบคุมได้ มีข้อดีคือการสร้างฟิล์มที่ง่าย ความบริสุทธิ์สูง และความหนาแน่นสูง ระบบตรวจสอบความหนาของฟิล์มแบบเรียลไทม์อัตโนมัติเต็มรูปแบบช่วยให้มั่นใจได้ถึงความสามารถในการทำซ้ำและความเสถียรของกระบวนการ และมีฟังก์ชันการหลอมละลายอัตโนมัติเพื่อลดการพึ่งพาทักษะของผู้ปฏิบัติงาน
อุปกรณ์นี้สามารถนำไปใช้กับวัสดุโลหะต่างๆ เช่น ทองแดง อลูมิเนียม โคบอลต์ โครเมียม ทองคำ เงิน เงิน นิกเกล ไทเทเนียม และอื่นๆ และสามารถเคลือบด้วยฟิล์มโลหะ ฟิล์มชั้นฉนวน ฟิล์ม IMD เป็นต้น โดยส่วนใหญ่ใช้ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ เช่น อุปกรณ์ไฟฟ้า การเคลือบพื้นผิวบรรจุภัณฑ์ด้านหลังของเซมิคอนดักเตอร์ เป็นต้น