รายละเอียดสินค้า
อุปกรณ์นี้ใช้โครงสร้างประตูหน้าแนวตั้งและรูปแบบคลัสเตอร์สามารถติดตั้งแหล่งกำเนิดการระเหยสำหรับโลหะและวัสดุอินทรีย์ต่างๆ และสามารถระเหยซิลิคอนเวเฟอร์ที่มีข้อกำหนดต่างๆ ได้มีระบบจัดตำแหน่งที่แม่นยำ การเคลือบมีความเสถียรและการเคลือบมีความสามารถในการทำซ้ำได้ดี
อุปกรณ์เคลือบ GX600 สามารถระเหยสารอินทรีย์ที่เปล่งแสงหรือวัสดุโลหะได้อย่างแม่นยำ สม่ำเสมอ และควบคุมได้ลงบนวัสดุพิมพ์มีข้อดีของการเกิดฟิล์มอย่างง่าย ความบริสุทธิ์สูง และความแน่นสูงระบบตรวจสอบความหนาของฟิล์มอัตโนมัติแบบเรียลไทม์สามารถรับประกันความสามารถในการทำซ้ำและความเสถียรของกระบวนการมีฟังก์ชันละลายตัวเองเพื่อลดการพึ่งพาทักษะของผู้ปฏิบัติงาน
อุปกรณ์นี้สามารถใช้กับ Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti และวัสดุโลหะอื่น ๆ และสามารถเคลือบด้วยฟิล์มโลหะ ฟิล์มชั้นอิเล็กทริก ฟิล์ม IMD ฯลฯ ส่วนใหญ่ใช้ในเซมิคอนดักเตอร์ อุตสาหกรรม เช่น อุปกรณ์ไฟฟ้า การเคลือบพื้นผิวบรรจุภัณฑ์ด้านหลังเซมิคอนดักเตอร์ เป็นต้น
รุ่นตัวเลือก
| GX600 | GX900 |
| φ600*800(มม.) | φ900*H1050(มิลลิเมตร) |
การประยุกต์ใช้ในอุตสาหกรรม
อุปกรณ์ที่เกี่ยวข้อง
คลิกดู
GX2700 อุปกรณ์เคลือบการระเหยของลำแสงอิเล็กตรอน
อุปกรณ์ใช้เทคโนโลยีการระเหยของลำแสงอิเล็กตรอนอิเลคตรอนถูกปล่อยออกมาจากไส้หลอดแคโทดและโฟกัสไปที่กระแสลำแสงหนึ่ง ซึ่งเร่ง...