Ẹ̀rọ náà gba ìṣètò ìlẹ̀kùn iwájú àti ìṣètò ìṣọ̀kan. Ó lè ní àwọn orísun ìtújáde fún àwọn irin àti onírúurú ohun èlò oníwàláàyè, ó sì lè mú kí àwọn wafer silicon tí ó ní onírúurú ìlànà jáde. Nítorí pé ó ní ètò ìṣètò pípéye, ìbòrí náà dúró ṣinṣin, ìbòrí náà sì ní àtúnṣe tó dára.
Àwọn ohun èlò ìbòrí GX600 lè mú kí àwọn ohun èlò tí ń tú ìmọ́lẹ̀ tàbí irin jáde lọ́nà tí ó tọ́, déédé àti ní ọ̀nà ìṣàkóso gbẹ sí orí ilẹ̀ náà. Ó ní àwọn àǹfààní ti ìṣẹ̀dá fíìmù tí ó rọrùn, mímọ́ ga àti ìtẹ̀síwájú gíga. Ètò ìṣàyẹ̀wò fíìmù aládàáṣe tí ó nípọn ní àkókò gidi lè rí i dájú pé a tún ṣe é àti pé ó dúró ṣinṣin. Ó ní iṣẹ́ yíyọ́ ara-ẹni láti dín ìgbẹ́kẹ̀lé lórí àwọn ọgbọ́n olùṣiṣẹ́ kù.
A le lo awọn ohun elo naa si Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti ati awọn ohun elo irin miiran, a si le fi fiimu irin, fiimu dielectric Layer bo, fiimu IMD, ati bẹẹbẹ lọ. A maa n lo o ni pataki ninu ile-iṣẹ semiconductor, gẹgẹbi awọn ẹrọ agbara, awọ ipilẹ apoti semiconductor, ati bẹẹbẹ lọ.
| GX600 | GX900 |
| φ600*800(mm) | φ900*H1050(mm) |