GX600

Vifaa hivi vinatumia muundo wa mlango wa mbele wima na mpangilio wa nguzo. Vinaweza kuwa na vyanzo vya uvukizi kwa metali na vifaa mbalimbali vya kikaboni, na vinaweza kuyeyusha wafer za silikoni zenye vipimo mbalimbali. Vikiwa na mfumo wa upangiliaji sahihi, mipako ni thabiti na mipako ina uwezo mzuri wa kurudia.
Vifaa vya mipako vya GX600 vinaweza kuyeyusha kwa usahihi, sawasawa na kwa udhibiti vifaa vya kikaboni vinavyotoa mwanga au vifaa vya chuma kwenye substrate. Ina faida za uundaji rahisi wa filamu, usafi wa hali ya juu na ufupi wa hali ya juu. Mfumo wa ufuatiliaji wa filamu wa muda halisi wenye unene kamili unaweza kuhakikisha kurudiwa na uthabiti wa mchakato. Imeandaliwa na kazi ya kujiyeyusha ili kupunguza utegemezi wa ujuzi wa mwendeshaji.
Vifaa vinaweza kutumika kwa Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti na vifaa vingine vya chuma, na vinaweza kufunikwa na filamu ya chuma, filamu ya safu ya dielectric, filamu ya IMD, nk. Inatumika sana katika tasnia ya semiconductor, kama vile vifaa vya umeme, mipako ya substrate ya nyuma ya semiconductor, nk.