GX600

Ekipamenduak aurreko atearen egitura bertikala eta multzoen diseinua hartzen ditu.Metalen eta hainbat material organikoen lurrunketa-iturriekin horni daiteke, eta hainbat zehaztapenetako silizio-obleak lurrun ditzake.Zehaztasun-lerrokatze-sistemaz hornituta, estaldura egonkorra da eta estaldurak errepikakortasun ona du.
GX600 estaldura-ekipoak argia igortzen duten material organikoak edo metalezko materialak lurrun ditzake zehatz, berdin eta modu kontrolatuan substratuan.Film sinplearen eraketa, garbitasun handiko eta trinkotasun handiko abantailak ditu.Filmaren lodiera denbora errealean kontrolatzeko sistema guztiz automatikoak prozesuaren errepikakortasuna eta egonkortasuna berma ditzake.Auto-urtze funtzioarekin hornituta dago, operadorearen trebetasunekiko menpekotasuna murrizteko.
Ekipamendua Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti eta beste metalezko material batzuei aplika dakieke eta metalezko filmarekin, geruza dielektrikoarekin, IMD filmarekin, etab. batez ere erdieroalean erabiltzen da. industria, hala nola, potentzia-gailuak, erdieroaleen atzeko ontzien estaldura, etab.