GX600

O equipamento adota estrutura de porta frontal vertical e layout de cluster.Pode ser equipado com fontes de evaporação para metais e vários materiais orgânicos e pode evaporar pastilhas de silício de várias especificações.Equipado com sistema de alinhamento de precisão, o revestimento é estável e tem boa repetibilidade.
O equipamento de revestimento GX600 pode evaporar de forma precisa, uniforme e controlada materiais orgânicos emissores de luz ou materiais metálicos no substrato.Tem as vantagens de formação de filme simples, alta pureza e alta compacidade.O sistema de monitoramento em tempo real totalmente automático da espessura do filme pode garantir a repetibilidade e a estabilidade do processo.É equipado com função de autofusão para reduzir a dependência das habilidades do operador.
O equipamento pode ser aplicado a Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti e outros materiais metálicos, e pode ser revestido com filme de metal, filme de camada dielétrica, filme IMD, etc. é usado principalmente em semicondutores indústria, tais como dispositivos de energia, revestimento de substrato de embalagem traseira de semicondutores, etc.