GX600

Жабдуу вертикалдуу алдыңкы эшиктин түзүлүшүн жана кластердик жайгашууну колдонот. Ал металлдар жана ар кандай органикалык материалдар үчүн буулануу булактары менен жабдылышы мүмкүн, ошондой эле ар кандай мүнөздөмөлөрдөгү кремний пластиналарын бууланта алат. Так тегиздөө системасы менен жабдылган каптоо туруктуу жана каптоо жакшы кайталануучу касиетке ээ.
GX600 каптоочу жабдуу органикалык жарык чыгаруучу материалдарды же металл материалдарды негизге так, бирдей жана көзөмөлдөнүүчү түрдө бууланта алат. Ал жөнөкөй пленка пайда болуу, жогорку тазалык жана жогорку компакттуулук сыяктуу артыкчылыктарга ээ. Толук автоматтык пленканын калыңдыгын реалдуу убакытта көзөмөлдөө системасы процесстин кайталанышын жана туруктуулугун камсыздай алат. Ал оператордун көндүмдөрүнө көз карандылыкты азайтуу үчүн өзүн-өзү эрүү функциясы менен жабдылган.
Жабдуулар Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti жана башка металл материалдарына колдонулушу мүмкүн жана металл пленкасы, диэлектрик катмар пленкасы, IMD пленкасы ж.б. менен капталышы мүмкүн. Ал негизинен жарым өткөргүч өнөр жайында, мисалы, электр шаймандары, жарым өткөргүчтөрдүн арткы таңгактоочу субстрат каптоо ж.б. колдонулат.