GX600

Таҷҳизот сохтори амудии дари пеш ва тарҳбандии кластерро қабул мекунад. Он метавонад бо манбаъҳои бухоршавӣ барои металлҳо ва маводҳои гуногуни органикӣ муҷаҳҳаз бошад ва инчунин метавонад вафлҳои кремнийи дорои хусусиятҳои гуногунро бухор кунад. Бо системаи дақиқи ҳамоҳангсозӣ муҷаҳҳаз шудааст, пӯшиш устувор аст ва пӯшиш такроршавандагии хуб дорад.
Таҷҳизоти рӯйпӯшкунии GX600 метавонад маводҳои органикии нурафкан ё маводҳои металлиро ба таври дақиқ, баробар ва назоратшаванда бухор кунад. Он дорои бартариҳои соддаи ташаккули плёнка, тозагии баланд ва фишурдагии баланд мебошад. Системаи назорати ғафсии пурраи худкори плёнка дар вақти воқеӣ метавонад такроршавандагӣ ва устувории равандро таъмин кунад. Он бо функсияи худобшавии муҷаҳҳаз муҷаҳҳаз шудааст, то вобастагӣ аз маҳорати операторро кам кунад.
Таҷҳизотро ба Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti ва дигар маводҳои металлӣ истифода бурдан мумкин аст ва онро бо плёнкаи металлӣ, плёнкаи қабати диэлектрикӣ, плёнкаи IMD ва ғайра пӯшонидан мумкин аст. Он асосан дар саноати нимноқилҳо, ба монанди дастгоҳҳои барқӣ, пӯшиши субстратии бастабандии пушти нимноқилҳо ва ғайра истифода мешавад.