GX600

Laitteessa on pystysuora etuovirakenne ja klusteriasetelma.Se voidaan varustaa metallien ja erilaisten orgaanisten materiaalien haihdutuslähteillä, ja se voi haihduttaa erityyppisiä piikiekkoja.Tarkkuuskohdistusjärjestelmällä varustettu pinnoite on vakaa ja pinnoitteella on hyvä toistettavuus.
GX600-pinnoituslaitteisto pystyy haihduttamaan orgaanisia valoa emittoivia materiaaleja tai metallimateriaaleja tarkasti, tasaisesti ja hallittavasti alustalle.Sen etuna on yksinkertainen kalvon muodostus, korkea puhtaus ja suuri tiiviys.Täysautomaattinen kalvon paksuuden reaaliaikainen valvontajärjestelmä voi varmistaa prosessin toistettavuuden ja vakauden.Se on varustettu itsesulamistoiminnolla, joka vähentää riippuvuutta käyttäjän taidoista.
Laitteita voidaan käyttää Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti ja muihin metallimateriaaleihin, ja ne voidaan pinnoittaa metallikalvolla, dielektrisellä kerroskalvolla, IMD-kalvolla jne. Sitä käytetään pääasiassa puolijohteessa teollisuus, kuten teholaitteet, puolijohteiden takapakkauksen substraattipinnoite jne.