जीएक्स600

उपकरण ऊर्ध्वाधर सामने के दरवाजे की संरचना और क्लस्टर लेआउट को अपनाता है। यह धातुओं और विभिन्न कार्बनिक पदार्थों के लिए वाष्पीकरण स्रोतों से सुसज्जित हो सकता है, और विभिन्न विशिष्टताओं के सिलिकॉन वेफर्स को वाष्पित कर सकता है। सटीक संरेखण प्रणाली से लैस, कोटिंग स्थिर है और कोटिंग में अच्छी पुनरावृत्ति है।
GX600 कोटिंग उपकरण सब्सट्रेट पर कार्बनिक प्रकाश उत्सर्जक सामग्री या धातु सामग्री को सटीक, समान रूप से और नियंत्रित रूप से वाष्पित कर सकता है। इसमें सरल फिल्म निर्माण, उच्च शुद्धता और उच्च कॉम्पैक्टनेस के फायदे हैं। पूर्ण-स्वचालित फिल्म मोटाई वास्तविक समय निगरानी प्रणाली प्रक्रिया की पुनरावृत्ति और स्थिरता सुनिश्चित कर सकती है। यह ऑपरेटर के कौशल पर निर्भरता को कम करने के लिए स्व-पिघलने वाले फ़ंक्शन से लैस है।
उपकरण को Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti और अन्य धातु सामग्री पर लागू किया जा सकता है, और इसे धातु फिल्म, ढांकता हुआ परत फिल्म, IMD फिल्म, आदि के साथ लेपित किया जा सकता है। इसका उपयोग मुख्य रूप से अर्धचालक उद्योग में किया जाता है, जैसे कि बिजली उपकरण, अर्धचालक रियर पैकेजिंग सब्सट्रेट कोटिंग, आदि।