GX600

उपकरण ऊर्ध्वाधर सामने वाले दरवाजे की संरचना और क्लस्टर लेआउट को अपनाता है।यह धातुओं और विभिन्न कार्बनिक पदार्थों के लिए वाष्पीकरण स्रोतों से सुसज्जित हो सकता है, और विभिन्न विशिष्टताओं के सिलिकॉन वेफर्स को वाष्पित कर सकता है।सटीक संरेखण प्रणाली से सुसज्जित, कोटिंग स्थिर है और कोटिंग में अच्छी पुनरावृत्ति है।
GX600 कोटिंग उपकरण सब्सट्रेट पर कार्बनिक प्रकाश उत्सर्जक सामग्री या धातु सामग्री को सटीक, समान रूप से और नियंत्रित रूप से वाष्पित कर सकते हैं।इसमें सरल फिल्म निर्माण, उच्च शुद्धता और उच्च कॉम्पैक्टनेस के फायदे हैं।पूर्ण-स्वचालित फिल्म मोटाई वास्तविक समय निगरानी प्रणाली प्रक्रिया की पुनरावृत्ति और स्थिरता सुनिश्चित कर सकती है।यह ऑपरेटर के कौशल पर निर्भरता को कम करने के लिए सेल्फ मेल्टिंग फ़ंक्शन से सुसज्जित है।
उपकरण को Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti और अन्य धातु सामग्रियों पर लगाया जा सकता है, और धातु फिल्म, ढांकता हुआ परत फिल्म, IMD फिल्म आदि के साथ लेपित किया जा सकता है। इसका उपयोग मुख्य रूप से अर्धचालक में किया जाता है उद्योग, जैसे बिजली उपकरण, सेमीकंडक्टर रियर पैकेजिंग सब्सट्रेट कोटिंग, आदि।