जीएक्स600

यह उपकरण ऊर्ध्वाधर फ्रंट डोर संरचना और क्लस्टर लेआउट को अपनाता है। इसमें धातुओं और विभिन्न कार्बनिक पदार्थों के लिए वाष्पीकरण स्रोत लगाए जा सकते हैं, और यह विभिन्न विशिष्टताओं के सिलिकॉन वेफर्स को वाष्पीकृत कर सकता है। सटीक संरेखण प्रणाली से लैस होने के कारण, कोटिंग स्थिर होती है और इसकी पुनरावृत्ति क्षमता अच्छी होती है।
GX600 कोटिंग उपकरण कार्बनिक प्रकाश उत्सर्जक पदार्थों या धातु पदार्थों को सब्सट्रेट पर सटीक, समान रूप से और नियंत्रित तरीके से वाष्पीकृत कर सकता है। इसमें सरल फिल्म निर्माण, उच्च शुद्धता और उच्च सघनता के लाभ हैं। पूर्णतः स्वचालित फिल्म मोटाई की रीयल-टाइम निगरानी प्रणाली प्रक्रिया की पुनरावृत्ति और स्थिरता सुनिश्चित करती है। इसमें ऑपरेटर के कौशल पर निर्भरता को कम करने के लिए स्वतः पिघलने की सुविधा भी है।
यह उपकरण Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti और अन्य धातु पदार्थों पर लागू किया जा सकता है, और इस पर धातु फिल्म, परावैद्युत परत फिल्म, IMD फिल्म आदि की कोटिंग की जा सकती है। इसका मुख्य उपयोग अर्धचालक उद्योग में होता है, जैसे कि विद्युत उपकरण, अर्धचालक रियर पैकेजिंग सब्सट्रेट कोटिंग आदि।