GX600

Thiết bị này sử dụng cấu trúc cửa trước thẳng đứng và bố trí dạng cụm. Nó có thể được trang bị các nguồn bay hơi cho kim loại và nhiều loại vật liệu hữu cơ khác nhau, và có thể bay hơi các tấm silicon với nhiều thông số kỹ thuật khác nhau. Được trang bị hệ thống căn chỉnh chính xác, lớp phủ ổn định và có độ lặp lại tốt.
Thiết bị phủ GX600 có thể bay hơi chính xác, đồng đều và có kiểm soát các vật liệu phát quang hữu cơ hoặc vật liệu kim loại lên chất nền. Nó có ưu điểm là tạo màng đơn giản, độ tinh khiết cao và độ đặc chắc cao. Hệ thống giám sát độ dày màng tự động theo thời gian thực đảm bảo tính lặp lại và ổn định của quá trình. Nó được trang bị chức năng tự nóng chảy để giảm sự phụ thuộc vào kỹ năng của người vận hành.
Thiết bị này có thể được ứng dụng cho các vật liệu kim loại như Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti và các vật liệu kim loại khác, và có thể được phủ màng kim loại, màng điện môi, màng IMD, v.v. Nó chủ yếu được sử dụng trong ngành công nghiệp bán dẫn, chẳng hạn như các thiết bị điện tử công suất, phủ lớp nền bao bì phía sau bán dẫn, v.v.