GX600

Alat-alat ieu nganut struktur panto hareup vertikal sareng tata ruang klaster. Éta tiasa dilengkepan sumber penguapan pikeun logam sareng rupa-rupa bahan organik, sareng tiasa nguapkeun wafer silikon tina rupa-rupa spésifikasi. Dilengkepan ku sistem panyelarasan presisi, palapisna stabil sareng palapisna gaduh repeatability anu saé.
Alat palapis GX600 tiasa nguapkeun bahan organik anu ngaluarkeun cahaya atanapi bahan logam kana substrat sacara akurat, rata, sareng terkendali. Alat ieu ngagaduhan kaunggulan tina formasi pilem anu saderhana, kamurnian anu luhur, sareng kakompakan anu luhur. Sistem monitoring real-time ketebalan pilem otomatis pinuh tiasa mastikeun kabisaulangan sareng stabilitas prosés. Alat ieu dilengkepan fungsi lebur sorangan pikeun ngirangan gumantungna kana kaahlian operator.
Alat-alat ieu tiasa diterapkeun kana Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti sareng bahan logam sanésna, sareng tiasa dilapis ku pilem logam, pilem lapisan dielektrik, pilem IMD, jsb. Ieu utamina dianggo dina industri semikonduktor, sapertos alat listrik, palapis substrat kemasan tukang semikonduktor, jsb.