GX600

L'equip adopta una estructura vertical de la porta frontal i una disposició de clúster.Es pot equipar amb fonts d'evaporació per a metalls i diversos materials orgànics, i pot evaporar hòsties de silici de diverses especificacions.Equipat amb un sistema d'alineació de precisió, el recobriment és estable i el recobriment té una bona repetibilitat.
Els equips de recobriment GX600 poden evaporar de manera precisa, uniforme i controlada materials orgànics emissors de llum o materials metàl·lics al substrat.Té els avantatges d'una formació senzilla de pel·lícula, una gran puresa i una gran compacitat.El sistema de control en temps real del gruix de la pel·lícula totalment automàtic pot garantir la repetibilitat i l'estabilitat del procés.Està equipat amb funció de fusió automàtica per reduir la dependència de les habilitats de l'operador.
L'equip es pot aplicar a Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti i altres materials metàl·lics, i es pot recobrir amb pel·lícula metàl·lica, pel·lícula de capa dielèctrica, pel·lícula IMD, etc. S'utilitza principalment en el semiconductor. indústria, com ara dispositius d'alimentació, recobriment de substrat d'embalatge posterior de semiconductors, etc.