سامان عمودی سامنے کے دروازے کی ساخت اور کلسٹر لے آؤٹ کو اپناتا ہے۔ یہ دھاتوں اور مختلف نامیاتی مواد کے وانپیکرن ذرائع سے لیس ہوسکتا ہے، اور مختلف خصوصیات کے سلکان ویفرز کو بخارات بنا سکتا ہے۔ صحت سے متعلق سیدھ کے نظام سے لیس، کوٹنگ مستحکم ہے اور کوٹنگ اچھی ریپیٹبلٹی ہے.
GX600 کوٹنگ کا سامان درست طریقے سے، یکساں طور پر اور قابل کنٹرول طور پر نامیاتی روشنی خارج کرنے والے مواد یا دھاتی مواد کو سبسٹریٹ پر بخارات بنا سکتا ہے۔ اس میں سادہ فلم کی تشکیل، اعلی طہارت اور اعلی کومپیکٹینس کے فوائد ہیں۔ مکمل خودکار فلم موٹائی ریئل ٹائم مانیٹرنگ سسٹم عمل کی تکرار اور استحکام کو یقینی بنا سکتا ہے۔ یہ آپریٹر کی مہارتوں پر انحصار کو کم کرنے کے لیے خود پگھلنے کی تقریب سے لیس ہے۔
یہ سامان Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti اور دیگر دھاتی مواد پر لگایا جا سکتا ہے، اور دھاتی فلم، ڈائی الیکٹرک لیئر فلم، IMD فلم وغیرہ کے ساتھ لیپت کیا جا سکتا ہے۔ یہ بنیادی طور پر سیمی کنڈکٹر انڈسٹری میں استعمال ہوتا ہے، جیسے پاور ڈیوائسز، سیمی کنڈکٹر ریئر پیکیجنگ سبسٹریٹ کوٹنگ وغیرہ۔
| جی ایکس 600 | GX900 |
| φ600*800(mm) | φ900*H1050(mm) |