تعتمد هذه المعدات هيكل باب أمامي رأسي وتصميمًا عنقوديًا. ويمكن تزويدها بمصادر تبخير للمعادن ومواد عضوية متنوعة، كما يمكنها تبخير رقائق السيليكون بمواصفات مختلفة. وبفضل نظام المحاذاة الدقيق، تتميز عملية الطلاء بالثبات وقابلية التكرار العالية.
تُتيح معدات الطلاء GX600 تبخير المواد العضوية المُضيئة أو المواد المعدنية بدقة وانتظام وتحكم على الركيزة. وتتميز بسهولة تكوين طبقة الطلاء، ونقائها العالي، وكثافتها. كما يضمن نظام مراقبة سُمك طبقة الطلاء الأوتوماتيكي بالكامل في الوقت الفعلي تكرار العملية واستقرارها. وهي مزودة بخاصية الصهر الذاتي لتقليل الاعتماد على مهارة المُشغل.
يمكن تطبيق هذه المعدات على النحاس والألومنيوم والكوبالت والكروم والذهب والفضة والنيكل والتيتانيوم وغيرها من المواد المعدنية، ويمكن طلاؤها بطبقة معدنية، وطبقة عازلة، وطبقة IMD، وما إلى ذلك. وهي تستخدم بشكل أساسي في صناعة أشباه الموصلات، مثل أجهزة الطاقة، وطلاء ركائز التغليف الخلفي لأشباه الموصلات، وما إلى ذلك.
| GX600 | GX900 |
| φ600*800(مم) | φ900*H1050(مم) |