GX600

Оборудование имеет вертикальную конструкцию передней двери и групповую компоновку.Он может быть оснащен источниками испарения металлов и различных органических материалов, а также может испарять кремниевые пластины различных спецификаций.Благодаря системе точного выравнивания покрытие является стабильным и имеет хорошую воспроизводимость.
Оборудование для нанесения покрытия GX600 может точно, равномерно и контролируемо напылять органические светоизлучающие материалы или металлические материалы на подложку.Он имеет преимущества простого формирования пленки, высокой чистоты и высокой компактности.Полностью автоматическая система контроля толщины пленки в режиме реального времени обеспечивает повторяемость и стабильность процесса.Он оснащен функцией самоплавки, чтобы уменьшить зависимость от навыков оператора.
Оборудование может быть применено к Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti и другим металлическим материалам и может быть покрыто металлической пленкой, пленкой с диэлектрическим слоем, пленкой IMD и т. Д. Оно в основном используется в полупроводниковой промышленности. промышленности, такой как силовые устройства, покрытие подложки задней части полупроводниковой упаковки и т. д.