ГХ600

Оборудование имеет вертикальную конструкцию с передней дверцей и кластерную компоновку. Оно может быть оснащено источниками испарения металлов и различных органических материалов, а также может испарять кремниевые пластины различных размеров. Оснащенное прецизионной системой выравнивания, оно обеспечивает стабильное и воспроизводимое нанесение покрытия.
Оборудование для нанесения покрытий GX600 позволяет точно, равномерно и контролируемо испарять органические светоизлучающие материалы или металлические материалы на подложку. Оно обладает преимуществами простоты формирования пленки, высокой чистоты и плотности. Полностью автоматическая система мониторинга толщины пленки в режиме реального времени обеспечивает повторяемость и стабильность процесса. Оснащено функцией самоплавления, что снижает зависимость от квалификации оператора.
Данное оборудование может применяться для нанесения металлических покрытий на медь, алюминий, кобальт, хром, золото, серебро, никель, титан и другие металлы, а также для нанесения металлических пленок, диэлектрических слоев, IMD-пленок и т.д. Оно в основном используется в полупроводниковой промышленности, например, для нанесения покрытий на силовые приборы, задние поверхности полупроводниковых подложек и т.д.