תיאור מוצר
הציוד מאמץ מבנה דלת כניסה אנכית ופריסה של אשכול.ניתן לצייד אותו במקורות אידוי למתכות וחומרים אורגניים שונים, ויכול לאדות פרוסות סיליקון במפרטים שונים.מצויד במערכת יישור מדויקת, הציפוי יציב והציפוי בעל יכולת חזרה טובה.
ציוד ציפוי GX600 יכול לאדות בצורה מדויקת, שווה ובקרה חומרים אורגניים פולטי אור או חומרי מתכת על גבי המצע.יש לו את היתרונות של היווצרות סרט פשוט, טוהר גבוה וקומפקטיות גבוהה.מערכת ניטור בזמן אמת בעובי הסרט האוטומטית יכולה להבטיח את יכולת החזרה ויציבות התהליך.הוא מצויד בפונקציית התכה עצמית כדי להפחית את התלות בכישורי המפעיל.
ניתן ליישם את הציוד על Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti וחומרי מתכת אחרים, והוא יכול להיות מצופה בסרט מתכת, סרט שכבה דיאלקטרי, סרט IMD וכו'. הוא משמש בעיקר במוליך למחצה תעשייה, כגון מכשירי חשמל, ציפוי מצע אריזות אחוריות מוליכים למחצה וכו'.
דגמים אופציונליים
| GX600 | GX900 |
| φ600*800(מ"מ) | φ900*H1050(מ"מ) |
מכשירים יחסיים
לחץ על הצג
GX2700 ציוד ציפוי קרן אלקטרונים
הציוד מאמץ את טכנולוגיית אידוי אלומת האלקטרונים.אלקטרונים נפלטים מחוט הקתודה וממוקדים לזרם קרן מסוים, המואץ...