GX600

Enjamlar öň gapylaryň dik gurluşyny we klaster gurluşyny ulanýar. Ol metallar we dürli organiki materiallar üçin bugartma çeşmeleri bilen enjamlaşdyrylyp bilner, şeýle hem dürli spesifikasiýalardaky kremniý plitalaryny bugardyp biler. Takyk deňleşdirme ulgamy bilen enjamlaşdyrylan örtük durnukly we örtük gowy gaýtalanma ukybyna eýedir.
GX600 örtük enjamy organiki ýagtylyk çykarýan materiallary ýa-da metal materiallary substrata takyk, deň we gözegçilikli ýagdaýda buglandyryp bilýär. Onuň plýonka emele getirmegiň ýönekeýligi, ýokary arassalyk we ýokary ykjamlyk ýaly artykmaçlyklary bar. Doly awtomatiki plýonka galyňlygyny real wagt gözegçilik ulgamy prosesiň gaýtalanmagyny we durnuklylygyny üpjün edip bilýär. Operatoryň başarnyklaryna garaşlylygy azaltmak üçin öz-özünden ereýän funksiýa bilen enjamlaşdyrylan.
Enjamlar Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti we beýleki metal materiallara ulanylyp bilner we metal plýonka, dielektrik gatlak plýonkasy, IMD plýonkasy we ş.m. bilen örtülip bilner. Ol esasan ýarymgeçiriji senagatynda, meselem, elektrik enjamlary, ýarymgeçirijileriň arka gaplama substrat örtügi we ş.m. ulanylýar.