GX600

A berendezés függőleges bejárati ajtószerkezetet és klaszterelrendezést alkalmaz.Felszerelhető fémek és különféle szerves anyagok párolgási forrásaival, valamint különféle specifikációjú szilícium lapkák párologtatására alkalmas.A precíziós igazítási rendszerrel felszerelve a bevonat stabil és a bevonat jó ismételhetőségű.
A GX600 bevonatoló berendezés pontosan, egyenletesen és szabályozhatóan elpárologtatja a szerves fénykibocsátó anyagokat vagy fémanyagokat az aljzatra.Előnye az egyszerű filmképzés, a nagy tisztaság és a nagy tömörség.A teljesen automatikus filmvastagság valós idejű monitorozó rendszer biztosítja a folyamat megismételhetőségét és stabilitását.Önolvadó funkcióval van felszerelve, hogy csökkentse a kezelő képességeitől való függőséget.
A berendezés Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti és egyéb fémanyagokra alkalmazható, és bevonható fémfóliával, dielektromos réteg filmmel, IMD fóliával stb. Főleg félvezetőben használják iparban, mint például az erősáramú eszközök, a félvezető hátsó csomagolóanyag-bevonat stb.