GX600

Zařízení využívá vertikální strukturu předních dveří a uspořádání skupin.Může být vybaven odpařovacími zdroji pro kovy a různé organické materiály a může odpařovat křemíkové plátky různých specifikací.Povlak je vybaven systémem přesného vyrovnání, je stabilní a povlak má dobrou opakovatelnost.
Nátěrové zařízení GX600 dokáže přesně, rovnoměrně a řízeně odpařovat organické materiály vyzařující světlo nebo kovové materiály na substrát.Má výhody jednoduché tvorby filmu, vysoké čistoty a vysoké kompaktnosti.Plně automatický systém monitorování tloušťky filmu v reálném čase může zajistit opakovatelnost a stabilitu procesu.Je vybavena funkcí samotavení pro snížení závislosti na dovednostech obsluhy.
Zařízení lze aplikovat na Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti a další kovové materiály a může být potaženo kovovým filmem, filmem dielektrické vrstvy, filmem IMD atd. používá se hlavně v polovodičích průmysl, jako jsou výkonová zařízení, povlak substrátu pro zadní obaly polovodičů atd.