जीएक्स६००

या उपकरणामध्ये उभ्या पुढच्या दरवाजाची रचना आणि क्लस्टर मांडणीचा अवलंब केला जातो. यामध्ये धातू आणि विविध सेंद्रिय पदार्थांसाठी बाष्पीभवन स्रोत बसवता येतात, आणि विविध वैशिष्ट्यांच्या सिलिकॉन वेफर्सचे बाष्पीभवन करता येते. अचूक संरेखन प्रणालीने सुसज्ज असल्यामुळे, लेप स्थिर राहतो आणि लेपामध्ये चांगली पुनरावृत्तीक्षमता असते.
GX600 कोटिंग उपकरण सब्सट्रेटवर सेंद्रिय प्रकाश-उत्सर्जक पदार्थ किंवा धातूंच्या पदार्थांचे अचूकपणे, समान रीतीने आणि नियंत्रितपणे बाष्पीभवन करू शकते. यात सोपी फिल्म निर्मिती, उच्च शुद्धता आणि उच्च घट्टपणा हे फायदे आहेत. पूर्ण-स्वयंचलित फिल्मच्या जाडीचे रिअल-टाइम निरीक्षण करणारी प्रणाली प्रक्रियेची पुनरावृत्तीक्षमता आणि स्थिरता सुनिश्चित करते. ऑपरेटरच्या कौशल्यावरील अवलंबित्व कमी करण्यासाठी यात स्व-वितळण्याची सुविधा आहे.
हे उपकरण Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti आणि इतर धातूंच्या सामग्रीवर लागू केले जाऊ शकते आणि त्यावर मेटल फिल्म, डायलेक्ट्रिक लेयर फिल्म, IMD फिल्म इत्यादींचे कोटिंग केले जाऊ शकते. याचा उपयोग प्रामुख्याने सेमीकंडक्टर उद्योगात, जसे की पॉवर डिव्हाइसेस, सेमीकंडक्टर रिअर पॅकेजिंग सबस्ट्रेट कोटिंग इत्यादींमध्ये होतो.