GX600

Udstyret vedtager lodret hoveddørstruktur og klyngelayout.Den kan udstyres med fordampningskilder til metaller og forskellige organiske materialer og kan fordampe siliciumwafers med forskellige specifikationer.Udstyret med præcisionsjusteringssystem er belægningen stabil, og belægningen har god repeterbarhed.
GX600 belægningsudstyr kan nøjagtigt, jævnt og kontrollerbart fordampe organiske lysemitterende materialer eller metalmaterialer på underlaget.Det har fordelene ved enkel filmdannelse, høj renhed og høj kompakthed.Det fuldautomatiske filmtykkelses-realtidsovervågningssystem kan sikre processens repeterbarhed og stabilitet.Den er udstyret med selvsmeltende funktion for at reducere afhængigheden af ​​operatørens færdigheder.
Udstyret kan påføres Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti og andre metalmaterialer og kan belægges med metalfilm, dielektrisk lagfilm, IMD-film osv. Det bruges hovedsageligt i halvlederen industri, såsom strømforsyninger, halvleder-bagemballagesubstratbelægning osv.