GX600

Theиһаз алгы ишек структурасын һәм кластер макетын кабул итә.Ул металллар һәм төрле органик материаллар өчен парга әйләнү чыганаклары белән җиһазландырылырга мөмкин, һәм төрле спецификацияле кремний вафаларын парга әйләндерә ала.Төгәл тигезләү системасы белән җиһазландырылган, каплау тотрыклы һәм каплау яхшы кабатлануга ия.
GX600 каплау җиһазлары субстратка органик яктылык җибәрүче материалларны яки металл материалларны төгәл, тигез һәм контрольдә тотып парга әйләндерә ала.Аның гади кино формалаштыру, югары чисталык һәм югары компактлылык өстенлекләре бар.Реаль вакыттагы мониторинг системасы тулы автоматик калынлык процессның кабатлануын һәм тотрыклылыгын тәэмин итә ала.Операторның осталыгына бәйләнешне киметү өчен, ул үз-үзен эретү функциясе белән җиһазландырылган.
Cuиһазлар Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti һәм башка металл материалларга кулланылырга мөмкин, һәм металл пленка, диэлектрик катлам пленкасы, IMD пленка һ.б. белән капланырга мөмкин, ул ярымүткәргечтә кулланыла. сәнәгать, мәсәлән, электр җайланмалары, ярымүткәргеч арткы упаковка субстрат каплау һ.б.