GX600

Җиһаз вертикаль алгы ишек структурасын һәм кластер урнашуын куллана. Ул металллар һәм төрле органик материаллар өчен парга әйләндерү чыганаклары белән җиһазландырылырга мөмкин, шулай ук ​​төрле спецификацияле кремний пластиналарын парга әйләндерә ала. Төгәл тигезләү системасы белән җиһазландырылган каплау тотрыклы һәм каплау яхшы кабатланучанлыкка ия.
GX600 каплау җиһазы органик яктылык чыгаручы материалларны яки металл материалларны төгәл, тигез һәм контрольдә тотып парга әйләндерә ала. Аның пленка формалашуның гадилеге, югары чисталыгы һәм югары компактлыгы кебек өстенлекләре бар. Тулы автоматик пленка калынлыгын реаль вакыт режимында күзәтү системасы процессның кабатланучанлыгын һәм тотрыклылыгын тәэмин итә ала. Ул операторның осталыгына бәйлелекне киметү өчен үз-үзен эрү функциясе белән җиһазландырылган.
Бу җиһазлар Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti һәм башка металл материалларга кулланылырга мөмкин, һәм металл пленка, диэлектрик катлам пленкасы, IMD пленкасы һ.б. белән капланырга мөмкин. Ул, нигездә, ярымүткәргечләр сәнәгатендә кулланыла, мәсәлән, электр җайланмалары, ярымүткәргеч арткы төргәкләү субстраты каплавы һ.б.