GX600

Utstyret vedtar vertikal inngangsdørstruktur og klyngeoppsett.Den kan utstyres med fordampningskilder for metaller og ulike organiske materialer, og kan fordampe silisiumskiver med ulike spesifikasjoner.Utstyrt med presisjonsjusteringssystem, er belegget stabilt og belegget har god repeterbarhet.
GX600-beleggingsutstyr kan nøyaktig, jevnt og kontrollerbart fordampe organiske lysemitterende materialer eller metallmaterialer på underlaget.Den har fordelene med enkel filmdannelse, høy renhet og høy kompakthet.Det fullautomatiske overvåkingssystemet for filmtykkelse i sanntid kan sikre repeterbarheten og stabiliteten til prosessen.Den er utstyrt med selvsmeltende funksjon for å redusere avhengigheten av operatørens ferdigheter.
Utstyret kan påføres Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti og andre metallmaterialer, og kan belegges med metallfilm, dielektrisk lagfilm, IMD-film osv. Det brukes hovedsakelig i halvlederen industri, for eksempel kraftenheter, halvlederbelegg for bakemballasje, etc.