GX600

Echipamentul adoptă o structură verticală a ușii din față și un aspect al grupului.Poate fi echipat cu surse de evaporare pentru metale și diverse materiale organice și poate evapora plachete de siliciu de diferite specificații.Echipat cu sistem de aliniere de precizie, acoperirea este stabilă, iar stratul are o bună repetabilitate.
Echipamentele de acoperire GX600 pot evapora în mod precis, uniform și controlabil materiale organice care emit lumină sau materiale metalice pe substrat.Are avantajele formării simple de peliculă, puritate ridicată și compactitate ridicată.Sistemul complet automat de monitorizare în timp real a grosimii filmului poate asigura repetabilitate și stabilitatea procesului.Este echipat cu funcție de autotopire pentru a reduce dependența de abilitățile operatorului.
Echipamentul poate fi aplicat pe Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti și alte materiale metalice și poate fi acoperit cu folie metalică, film strat dielectric, film IMD etc. este utilizat în principal în semiconductor industrie, cum ar fi dispozitivele de alimentare, acoperirea substratului de ambalare din spate a semiconductorilor etc.