機器の利点
この装置は電子ビーム蒸着技術を採用しており、陰極フィラメントから放出された電子が特定のビーム電流に集束されます。その後、陰極とるつぼ間の電位差によってビームが加速され、コーティング材料が溶融・蒸発します。この方法は高エネルギー密度を特徴とし、3000℃を超える融点を持つ材料の蒸着を可能にします。得られた薄膜層は、高い純度と熱効率を示します。
本装置は、電子ビーム蒸着源、イオン源、膜厚モニタリングシステム、膜厚補正構造、および安定した傘型ワークピース回転システムを備えています。イオン源はコーティングプロセスを補助し、膜層の密度を高め、屈折率を安定させ、水分による波長シフトを防ぎます。全自動リアルタイム膜厚モニタリングシステムは、プロセスの再現性と安定性を保証します。さらに、本装置は自動供給機能を備えているため、オペレーターのスキルへの依存度を低減します。
この装置は、様々な酸化物および金属コーティング材料に適しています。反射防止(AR)コーティング、ロングパスフィルター、ショートパスフィルター、輝度向上フィルム、防汚・防指紋(AS/AF)コーティング、IRCUTフィルター、カラーフィルターシステム、グラデーションフィルムなど、多層精密光学フィルムを成膜できます。携帯電話のガラスカバー、カメラレンズ、眼鏡レンズ、光学レンズ、水泳用ゴーグル、スキー用ゴーグル、PETフィルムシート/複合板、PMMA(ポリメチルメタクリレート)、フォトクロミック磁性フィルム、偽造防止、化粧品など、幅広い用途で使用されています。