GX600

Utrustningen antar vertikal ytterdörrstruktur och klusterlayout.Den kan utrustas med förångningskällor för metaller och olika organiska material och kan förånga kiselskivor med olika specifikationer.Utrustad med precisionssystem är beläggningen stabil och beläggningen har god repeterbarhet.
GX600 beläggningsutrustning kan exakt, jämnt och kontrollerbart avdunsta organiska ljusavgivande material eller metallmaterial på substratet.Det har fördelarna med enkel filmbildning, hög renhet och hög kompakthet.Det helautomatiska realtidsövervakningssystemet för filmtjocklek kan säkerställa processens repeterbarhet och stabilitet.Den är utrustad med självsmältande funktion för att minska beroendet av förarens kompetens.
Utrustningen kan appliceras på Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti och andra metallmaterial, och kan beläggas med metallfilm, dielektrisk skiktfilm, IMD-film, etc. den används huvudsakligen i halvledaren industri, såsom kraftenheter, halvledarbeläggning av bakre förpackningssubstrat, etc.