GX600

Kayan aikin suna amfani da tsarin ƙofar gaba a tsaye da kuma tsarin rukuni. Ana iya sanya shi a cikin hanyoyin fitar da ƙazanta don ƙarfe da kayan halitta daban-daban, kuma yana iya ƙafe wafers na silicon daban-daban. An sanye shi da tsarin daidaitawa daidai, murfin yana da karko kuma murfin yana da kyakkyawan sake maimaitawa.
Kayan aikin rufewa na GX600 na iya ƙafe kayan da ke fitar da haske na halitta ko kayan ƙarfe daidai, daidai kuma cikin iko a kan abin da aka yi amfani da shi. Yana da fa'idodin ƙirƙirar fim mai sauƙi, tsarki mai yawa da kuma ƙaramin ƙarfi. Tsarin sa ido na ainihin lokaci mai cikakken kauri na fim na atomatik zai iya tabbatar da maimaitawa da kwanciyar hankali na aikin. An sanye shi da aikin narkewar kai don rage dogaro da ƙwarewar mai aiki.
Ana iya amfani da kayan aikin a Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti da sauran kayan ƙarfe, kuma ana iya shafa su da fim ɗin ƙarfe, fim ɗin dielectric Layer, fim ɗin IMD, da sauransu. Ana amfani da shi galibi a masana'antar semiconductor, kamar na'urorin wutar lantarki, rufin marufi na baya na semiconductor, da sauransu.