ГКС600

Опрема усваја вертикалну структуру улазних врата и распоред кластера.Може бити опремљен изворима испаравања за метале и разне органске материјале и може испарити силицијумске плочице различитих спецификација.Опремљен прецизним системом поравнања, премаз је стабилан и премаз има добру поновљивост.
Опрема за премазивање ГКС600 може прецизно, равномерно и контролисано да испари органске материјале који емитују светлост или металне материјале на подлогу.Има предности једноставног формирања филма, високе чистоће и високе компактности.Потпуно аутоматски систем за праћење дебљине филма у реалном времену може осигурати поновљивост и стабилност процеса.Опремљен је функцијом самотопљења како би се смањила зависност од вештина оператера.
Опрема се може применити на Цу, Ал, Цо, Цр, Ау, Аг, Ни, Ти и друге металне материјале, а може се обложити металним филмом, филмом од диелектричног слоја, ИМД филмом итд. Углавном се користи у полупроводницима индустрија, као што су уређаји за напајање, премаз за супстрат задњег паковања полупроводника итд.