Lisebelisoa li sebelisa sebopeho sa monyako o ka pele o otlolohileng le moralo oa sehlopha. E ka hlomelloa ka mehloli ea mouoane bakeng sa litšepe le lisebelisoa tse fapaneng tsa tlhaho, 'me e ka fetola li-wafer tsa silicon tsa litlhaloso tse fapaneng hore li fetohe mouoane. E hlomelitsoe ka sistimi ea ho hokahanya ka nepo, sekoahelo se tsitsitse 'me sekoahelo se na le monyetla o motle oa ho pheta-pheta.
Lisebelisoa tsa ho koahela tsa GX600 li ka fetola thepa e ntšang leseli la tlhaho kapa thepa ea tšepe ka mokhoa o nepahetseng, ka ho lekana le ka mokhoa o laolehang ho ea substrate. E na le melemo ea ho etsoa ha filimi habonolo, bohloeki bo phahameng le ho ba bonolo haholo. Sistimi ea ho beha leihlo ea botenya ba filimi ka nako ea sebele e ka netefatsa hore ts'ebetso e phetoa hape le botsitso. E na le ts'ebetso ea ho itlhoekisa ho fokotsa ho itšetleha ka tsebo ea mosebelisi.
Lisebelisoa li ka sebelisoa ho Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti le lisebelisoa tse ling tsa tšepe, 'me li ka koaheloa ka filimi ea tšepe, filimi ea lera la dielectric, filimi ea IMD, jj. E sebelisoa haholo indastering ea semiconductor, joalo ka lisebelisoa tsa motlakase, semiconductor ka morao ho roala substrate, jj.
| GX600 | GX900 |
| φ600*800(mm) | φ900*H1050(mm) |