GX600

Жабдық алдыңғы есіктің тік құрылымын және кластердің орналасуын қабылдайды.Ол металдар мен әртүрлі органикалық материалдардың булану көздерімен жабдықталуы мүмкін және әртүрлі сипаттамалардағы кремний пластинкаларын буландыра алады.Дәл туралау жүйесімен жабдықталған жабын тұрақты және жабынның қайталануы жақсы.
GX600 жабын жабдығы субстратқа органикалық жарық шығаратын материалдарды немесе металл материалдарды дәл, біркелкі және басқарылатын буландыра алады.Оның қарапайым пленка қалыптастыру, жоғары тазалық және жоғары жинақылық артықшылықтары бар.Толық автоматты пленка қалыңдығын нақты уақыт режимінде бақылау жүйесі процестің қайталануы мен тұрақтылығын қамтамасыз ете алады.Ол оператордың дағдыларына тәуелділікті азайту үшін өздігінен балқыту функциясымен жабдықталған.
Жабдықты Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti және басқа металл материалдарға қолдануға болады және металл пленкамен, диэлектрлік қабатпен, IMD пленкасымен және т.б. қаптауға болады. өнеркәсіп, мысалы, қуат құрылғылары, жартылай өткізгішті артқы қаптаманың субстрат жабыны және т.б.