GX600

Жабдық тік кіреберіс есік құрылымын және кластерлік орналасуды қолданады. Ол металдар мен әртүрлі органикалық материалдарға арналған булану көздерімен жабдықталуы мүмкін, сондай-ақ әртүрлі сипаттамалардағы кремний пластиналарын булай алады. Дәл туралау жүйесімен жабдықталған жабын тұрақты және жабынның қайталануы жақсы.
GX600 жабын жабдығы органикалық жарық шығаратын материалдарды немесе металл материалдарды негізге дәл, біркелкі және бақыланатын түрде булай алады. Оның пленка түзілуінің қарапайымдылығы, жоғары тазалығы және жоғары ықшамдылығы сияқты артықшылықтары бар. Толық автоматты пленка қалыңдығын нақты уақыт режимінде бақылау жүйесі процестің қайталануы мен тұрақтылығын қамтамасыз ете алады. Ол оператордың дағдыларына тәуелділікті азайту үшін өздігінен балқу функциясымен жабдықталған.
Жабдықты Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti және басқа да металл материалдарға қолдануға болады және металл пленкамен, диэлектрлік қабат пленкасымен, IMD пленкасымен және т.б. жабуға болады. Ол негізінен жартылай өткізгіштер өнеркәсібінде, мысалы, қуат құрылғыларында, жартылай өткізгіштердің артқы қаптамасының субстрат жабынында және т.б. қолданылады.