GX600

El equipo cuenta con una estructura de puerta frontal vertical y una disposición en clúster. Puede equiparse con fuentes de evaporación para metales y diversos materiales orgánicos, y permite la evaporación de obleas de silicio de diferentes especificaciones. Gracias a su sistema de alineación de precisión, el recubrimiento es estable y presenta una excelente repetibilidad.
El equipo de recubrimiento GX600 permite evaporar con precisión, uniformidad y control materiales orgánicos emisores de luz o metálicos sobre el sustrato. Ofrece las ventajas de una formación de película sencilla, alta pureza y gran compacidad. El sistema de monitorización automática en tiempo real del espesor de la película garantiza la repetibilidad y estabilidad del proceso. Además, incorpora una función de autofusión que reduce la dependencia de la habilidad del operario.
El equipo se puede aplicar a materiales metálicos como Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti y otros, y se puede recubrir con películas metálicas, capas dieléctricas, películas IMD, etc. Se utiliza principalmente en la industria de semiconductores, por ejemplo, en dispositivos de potencia, recubrimiento de sustratos de encapsulado posterior de semiconductores, etc.