Uskuna vertikal old eshik tuzilishi va klaster joylashuvini qo'llaydi. U metallar va turli xil organik materiallar uchun bug'lanish manbalari bilan jihozlanishi mumkin, shuningdek, turli xil xususiyatlarga ega kremniy plitalarini bug'lantirishi mumkin. Aniq hizalash tizimi bilan jihozlangan qoplama barqaror va qoplama yaxshi takrorlanishga ega.
GX600 qoplama uskunasi organik yorug'lik chiqaradigan materiallarni yoki metall materiallarni substratga aniq, teng va nazorat ostida bug'lantirishi mumkin. U oddiy plyonka hosil bo'lishi, yuqori tozalik va yuqori ixchamlik kabi afzalliklarga ega. To'liq avtomatik plyonka qalinligini real vaqt rejimida monitoring qilish tizimi jarayonning takrorlanishi va barqarorligini ta'minlashi mumkin. Operatorning mahoratiga bog'liqlikni kamaytirish uchun u o'z-o'zidan erish funksiyasi bilan jihozlangan.
Uskunalar Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti va boshqa metall materiallarga qo'llanilishi mumkin va metall plyonka, dielektrik qatlam plyonkasi, IMD plyonkasi va boshqalar bilan qoplanishi mumkin. U asosan yarimo'tkazgich sanoatida, masalan, quvvat qurilmalari, yarimo'tkazgich orqa o'rash substrat qoplamasi va boshqalarda qo'llaniladi.
| GX600 | GX900 |
| φ600 * 800 (mm) | φ900*H1050(mm) |