GX600

De apparatuur heeft een verticale voordeurstructuur en clusterlay-out.Het kan worden uitgerust met verdampingsbronnen voor metalen en verschillende organische materialen, en kan siliciumwafels van verschillende specificaties verdampen.Uitgerust met een nauwkeurig uitlijnsysteem, is de coating stabiel en heeft de coating een goede herhaalbaarheid.
GX600-coatingapparatuur kan organische lichtgevende materialen of metalen materialen nauwkeurig, gelijkmatig en gecontroleerd op het substraat verdampen.Het heeft de voordelen van eenvoudige filmvorming, hoge zuiverheid en hoge compactheid.Het volautomatische real-time monitoringsysteem voor de filmdikte kan de herhaalbaarheid en stabiliteit van het proces garanderen.Het is uitgerust met een zelfsmeltfunctie om de afhankelijkheid van de vaardigheden van de operator te verminderen.
De apparatuur kan worden toegepast op Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti en andere metalen materialen en kan worden gecoat met metaalfilm, diëlektrische laagfilm, IMD-film, enz. Het wordt voornamelijk gebruikt in de halfgeleider industrie, zoals voedingsapparaten, substraatcoating van de achterverpakking van halfgeleiders, enz.