GX600

De apparatuur heeft een verticale voordeurconstructie en een clusteropstelling. Het kan worden uitgerust met verdampingsbronnen voor metalen en diverse organische materialen, en kan siliciumwafers van verschillende specificaties verdampen. Dankzij een nauwkeurig uitlijnsysteem is de coating stabiel en zeer reproduceerbaar.
De GX600 coatingmachine kan organische lichtemitterende materialen of metalen materialen nauwkeurig, gelijkmatig en gecontroleerd op het substraat verdampen. De voordelen zijn onder andere een eenvoudige filmvorming, hoge zuiverheid en een hoge compactheid. Het volledig automatische realtime monitoringsysteem voor de filmdikte garandeert de herhaalbaarheid en stabiliteit van het proces. De machine is bovendien voorzien van een zelfontdooifunctie, waardoor de afhankelijkheid van de vaardigheden van de operator wordt verminderd.
De apparatuur kan worden toegepast op Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti en andere metalen materialen, en kan worden gecoat met metaalfilm, diëlektrische laagfilm, IMD-film, enz. Het wordt voornamelijk gebruikt in de halfgeleiderindustrie, bijvoorbeeld voor vermogenscomponenten, coating van de achterkant van halfgeleiderverpakkingen, enz.