GX600

Zariadenie má vertikálnu štruktúru predných dverí a klastrové usporiadanie. Môže byť vybavené zdrojmi odparovania pre kovy a rôzne organické materiály a dokáže odparovať kremíkové doštičky rôznych špecifikácií. Vďaka presnému zarovnávaciemu systému je povlak stabilný a má dobrú opakovateľnosť.
Zariadenie na nanášanie laku GX600 dokáže presne, rovnomerne a kontrolovane odparovať organické materiály emitujúce svetlo alebo kovové materiály na substrát. Jeho výhody spočívajú v jednoduchej tvorbe filmu, vysokej čistote a vysokej kompaktnosti. Plne automatický systém monitorovania hrúbky filmu v reálnom čase zabezpečuje opakovateľnosť a stabilitu procesu. Je vybavené funkciou samotavenia, ktorá znižuje závislosť od zručností obsluhy.
Zariadenie je možné aplikovať na Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti a iné kovové materiály a je možné ho potiahnuť kovovou fóliou, dielektrickou vrstvou, IMD fóliou atď. Používa sa hlavne v polovodičovom priemysle, ako sú výkonové zariadenia, povlaky na zadné balenie polovodičových substrátov atď.