GX600

સાધનો વર્ટિકલ ફ્રન્ટ ડોર સ્ટ્રક્ચર અને ક્લસ્ટર લેઆઉટ અપનાવે છે.તે ધાતુઓ અને વિવિધ કાર્બનિક પદાર્થો માટે બાષ્પીભવન સ્ત્રોતોથી સજ્જ થઈ શકે છે, અને વિવિધ વિશિષ્ટતાઓના સિલિકોન વેફરને બાષ્પીભવન કરી શકે છે.ચોકસાઇ ગોઠવણી સિસ્ટમથી સજ્જ, કોટિંગ સ્થિર છે અને કોટિંગ સારી પુનરાવર્તિતતા ધરાવે છે.
GX600 કોટિંગ સાધનો સચોટ રીતે, સમાનરૂપે અને નિયંત્રણક્ષમ રીતે ઓર્ગેનિક પ્રકાશ ઉત્સર્જન કરતી સામગ્રી અથવા ધાતુની સામગ્રીને સબસ્ટ્રેટ પર બાષ્પીભવન કરી શકે છે.તેમાં સરળ ફિલ્મ રચના, ઉચ્ચ શુદ્ધતા અને ઉચ્ચ કોમ્પેક્ટનેસના ફાયદા છે.પૂર્ણ-સ્વચાલિત ફિલ્મ જાડાઈ રીઅલ-ટાઇમ મોનિટરિંગ સિસ્ટમ પ્રક્રિયાની પુનરાવર્તિતતા અને સ્થિરતાને સુનિશ્ચિત કરી શકે છે.તે ઓપરેટરની કુશળતા પર નિર્ભરતા ઘટાડવા માટે સ્વ-ગલન કાર્યથી સજ્જ છે.
સાધનો Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti અને અન્ય ધાતુની સામગ્રી પર લાગુ કરી શકાય છે, અને મેટલ ફિલ્મ, ડાઇલેક્ટ્રિક લેયર ફિલ્મ, IMD ફિલ્મ, વગેરે સાથે કોટેડ કરી શકાય છે. તે મુખ્યત્વે સેમિકન્ડક્ટરમાં વપરાય છે. ઉદ્યોગ, જેમ કે પાવર ઉપકરણો, સેમિકન્ડક્ટર રીઅર પેકેજિંગ સબસ્ટ્રેટ કોટિંગ, વગેરે.