GX600

Bu ekipman, dikey ön kapı yapısı ve küme düzenini benimser. Metaller ve çeşitli organik malzemeler için buharlaştırma kaynaklarıyla donatılabilir ve çeşitli özelliklerdeki silikon levhaları buharlaştırabilir. Hassas hizalama sistemiyle donatılmış olup, kaplama stabildir ve kaplamanın tekrarlanabilirliği iyidir.
GX600 kaplama ekipmanı, organik ışık yayan malzemeleri veya metal malzemeleri alt tabaka üzerine doğru, eşit ve kontrollü bir şekilde buharlaştırabilir. Basit film oluşumu, yüksek saflık ve yüksek yoğunluk avantajlarına sahiptir. Tam otomatik film kalınlığı gerçek zamanlı izleme sistemi, işlemin tekrarlanabilirliğini ve kararlılığını sağlar. Operatörün becerilerine olan bağımlılığı azaltmak için kendiliğinden erime fonksiyonu ile donatılmıştır.
Bu ekipman, bakır, alüminyum, kobalt, krom, altın, gümüş, nikel, titanyum ve diğer metal malzemelere uygulanabilir ve metal film, dielektrik tabaka filmi, IMD filmi vb. ile kaplanabilir. Başlıca kullanım alanları arasında güç cihazları, yarı iletken arka paketleme alt tabaka kaplaması vb. gibi yarı iletken endüstrisi yer almaktadır.