GX600

Ekipman, dikey ön kapı yapısını ve küme düzenini benimser.Metaller ve çeşitli organik malzemeler için buharlaştırma kaynakları ile donatılabilir ve çeşitli özelliklerde silikon gofretleri buharlaştırabilir.Hassas hizalama sistemi ile donatılmış kaplama stabildir ve kaplama iyi bir tekrarlanabilirliğe sahiptir.
GX600 kaplama ekipmanı, organik ışık yayan malzemeleri veya metal malzemeleri alt tabaka üzerinde doğru, eşit ve kontrollü bir şekilde buharlaştırabilir.Basit film oluşumu, yüksek saflık ve yüksek kompaktlık avantajlarına sahiptir.Tam otomatik film kalınlığı gerçek zamanlı izleme sistemi, sürecin tekrarlanabilirliğini ve kararlılığını sağlayabilir.Operatörün becerilerine bağımlılığı azaltmak için kendi kendine erime işlevi ile donatılmıştır.
Ekipman, Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti ve diğer metal malzemelere uygulanabilir ve metal film, dielektrik tabaka filmi, IMD film vb. ile kaplanabilir. Esas olarak yarı iletkenlerde kullanılır. güç cihazları, yarı iletken arka ambalaj alt tabaka kaplaması vb.