GX600

D'Ausrüstung adoptéiert vertikal virun Dier Struktur a Stärekoup Layout.Et kann mat Verdampfungsquellen fir Metaller a verschidde organesch Materialien ausgestatt sinn, a kann Siliziumwafere vu verschiddene Spezifikatioune verdampen.Equipéiert mat Präzisiounsausrichtungssystem, ass d'Beschichtung stabil an d'Beschichtung huet gutt Widderhuelbarkeet.
GX600 Beschichtungsausrüstung kann präzis, gläichméisseg a kontrolléierbar organesch liicht emittéierend Materialien oder Metallmaterialien op de Substrat verdampen.Et huet d'Virdeeler vun einfacher Filmbildung, héich Rengheet an héich Kompaktheet.De vollautomatesche Filmdicke Echtzäit Iwwerwaachungssystem kann d'Wiederholbarkeet an d'Stabilitéit vum Prozess garantéieren.Et ass mat Selbstschmelzfunktioun ausgestatt fir d'Ofhängegkeet vun de Kompetenzen vum Bedreiwer ze reduzéieren.
D'Ausrüstung kann op Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti an aner Metallmaterialien applizéiert ginn, a kann mat Metallfilm, dielektresche Schichtfilm, IMD Film, etc. Industrie, wéi Kraaftapparater, Halbleiter Heckverpackungssubstratbeschichtung, asw.