GX600

本装置は垂直フロントドア構造とクラスターレイアウトを採用しており、金属および各種有機材料用の蒸発源を搭載でき、様々な規格のシリコンウェーハを蒸着できます。精密アライメントシステムを搭載しているため、コーティングの安定性と良好な再現性を実現しています。
GX600コーティング装置は、有機EL材料または金属材料を基板上に正確かつ均一に、かつ制御的に蒸着することができます。成膜が簡単で、純度が高く、コンパクトであるという利点があります。全自動膜厚リアルタイムモニタリングシステムにより、プロセスの再現性と安定性を確保します。また、セルフメルティング機能を搭載しており、オペレーターのスキルへの依存度を低減します。
この装置はCu、Al、Co、Cr、Au、Ag、Ni、Tiなどの金属材料に適用でき、金属膜、誘電体層膜、IMD膜などでコーティングできます。主にパワーデバイス、半導体背面パッケージ基板コーティングなどの半導体業界で使用されています。