อุปกรณ์นี้ใช้เทคโนโลยีการระเหยด้วยลำอิเล็กตรอน อิเล็กตรอนถูกปล่อยออกมาจากไส้หลอดแคโทดและรวมแสงให้เป็นกระแสลำแสงที่กำหนด ซึ่งจะถูกเร่งความเร็วโดยศักย์ไฟฟ้าระหว่างแคโทดและเบ้าหลอมเพื่อหลอมและระเหยวัสดุเคลือบ มีคุณสมบัติเด่นคือมีความหนาแน่นพลังงานสูงและสามารถระเหยวัสดุเคลือบที่มีจุดหลอมเหลวมากกว่า 3000 ℃ ได้ ฟิล์มที่ได้มีความบริสุทธิ์สูงและประสิทธิภาพทางความร้อนสูง
อุปกรณ์นี้ประกอบด้วยแหล่งกำเนิดการระเหยด้วยลำอิเล็กตรอน แหล่งกำเนิดไอออน ระบบตรวจสอบความหนาของฟิล์ม โครงสร้างแก้ไขความหนาของฟิล์ม และระบบหมุนชิ้นงานแบบร่มที่เสถียร การเคลือบโดยใช้แหล่งกำเนิดไอออนช่วยเพิ่มความหนาแน่นของฟิล์ม รักษาดัชนีหักเหให้คงที่ และหลีกเลี่ยงปรากฏการณ์การเปลี่ยนแปลงความยาวคลื่นเนื่องจากความชื้น ระบบตรวจสอบความหนาของฟิล์มแบบเรียลไทม์อัตโนมัติเต็มรูปแบบช่วยให้มั่นใจได้ถึงความสามารถในการทำซ้ำและความเสถียรของกระบวนการ นอกจากนี้ยังมาพร้อมกับฟังก์ชันการหลอมละลายอัตโนมัติเพื่อลดการพึ่งพาทักษะของผู้ปฏิบัติงาน
อุปกรณ์นี้สามารถใช้งานได้กับวัสดุเคลือบออกไซด์และโลหะหลากหลายชนิด และสามารถเคลือบด้วยฟิล์มแสงความแม่นยำสูงหลายชั้น เช่น ฟิล์ม AR, ฟิล์มคลื่นยาว, ฟิล์มคลื่นสั้น, ฟิล์มเพิ่มความสว่าง, ฟิล์ม AS/AF, IRCUT, ระบบฟิล์มสี, ระบบฟิล์มไล่ระดับสี เป็นต้น มีการใช้งานอย่างแพร่หลายในแว่นตา AR, เลนส์ออปติคอล, กล้องถ่ายรูป, ฟิลเตอร์, อุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ และอื่นๆ