GX600

อุปกรณ์นี้ใช้โครงสร้างประตูหน้าแนวตั้งและการจัดวางคลัสเตอร์ สามารถติดตั้งแหล่งระเหยสำหรับโลหะและวัสดุอินทรีย์ต่างๆ และสามารถระเหยเวเฟอร์ซิลิกอนที่มีสเปกต่างๆ ได้ ติดตั้งระบบจัดตำแหน่งที่แม่นยำ ทำให้การเคลือบมีความเสถียรและการเคลือบมีความสามารถในการทำซ้ำได้ดี
อุปกรณ์เคลือบ GX600 สามารถระเหยวัสดุที่เปล่งแสงอินทรีย์หรือวัสดุโลหะลงบนพื้นผิวได้อย่างแม่นยำ สม่ำเสมอ และควบคุมได้ อุปกรณ์นี้มีข้อดีคือสร้างฟิล์มได้ง่าย มีความบริสุทธิ์สูง และความแน่นหนาสูง ระบบตรวจสอบความหนาของฟิล์มแบบเรียลไทม์อัตโนมัติเต็มรูปแบบช่วยให้มั่นใจได้ถึงความสามารถในการทำซ้ำและความเสถียรของกระบวนการ อุปกรณ์นี้มาพร้อมกับฟังก์ชันหลอมละลายอัตโนมัติเพื่อลดการพึ่งพาทักษะของผู้ปฏิบัติงาน
อุปกรณ์นี้สามารถนำไปใช้กับ Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti และวัสดุโลหะอื่นๆ และสามารถเคลือบด้วยฟิล์มโลหะ ฟิล์มชั้นไดอิเล็กตริก ฟิล์ม IMD และอื่นๆ ส่วนใหญ่ใช้ในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ เช่น อุปกรณ์ไฟฟ้า การเคลือบพื้นผิวบรรจุภัณฑ์ด้านหลังของเซมิคอนดักเตอร์ เป็นต้น