O equipamento adota a tecnologia de evaporação por feixe de elétrons. Os elétrons são emitidos pelo filamento do cátodo e focalizados em uma determinada corrente de feixe, que é acelerada pela diferença de potencial entre o cátodo e o cadinho para fundir e evaporar o material de revestimento. Possui alta densidade de energia e pode evaporar materiais de revestimento com ponto de fusão superior a 3000 °C. O filme resultante apresenta alta pureza e alta eficiência térmica.
O equipamento possui fonte de evaporação por feixe de elétrons, fonte de íons, sistema de monitoramento da espessura do filme, estrutura de correção da espessura do filme e sistema de rotação estável da peça de trabalho tipo guarda-chuva. Através do revestimento assistido por fonte de íons, a compactação do filme é aumentada, o índice de refração é estabilizado e o fenômeno de deslocamento do comprimento de onda devido à umidade é evitado. O sistema de monitoramento automático em tempo real da espessura do filme garante a repetibilidade e a estabilidade do processo. Ele também possui função de autofusão para reduzir a dependência da habilidade do operador.
O equipamento é aplicável a diversos materiais de revestimento de óxidos e metais, e pode ser revestido com filmes ópticos de precisão multicamadas, como filme antirreflexo (AR), filme passa-alta, filme passa-baixa, filme de brilho, filme AS/AF, IRCUT, sistema de filme colorido, sistema de filme gradiente, etc. Tem sido amplamente utilizado em óculos de realidade aumentada, lentes ópticas, câmeras, filtros, indústria de semicondutores, etc.