Ẹ̀rọ náà gba ìmọ̀ ẹ̀rọ ìtújáde ìtànṣán ìtànṣán ìtànṣán elekitironi. A máa ń tú àwọn elekitironi jáde láti inú okùn cathode a sì máa ń dojúkọ wọn sínú ìṣàn ìtànṣán ìtànṣán kan, èyí tí agbára láàárín cathode àti crucible yóò mú kí ó yára sí i láti yọ́ kí ó sì mú kí ohun èlò ìbòrí náà yọ́. Ó ní àwọn ànímọ́ agbára gíga, ó sì lè mú kí ohun èlò ìbòrí náà yọ́ pẹ̀lú ojú ìgbóná tí ó ju 3000 ℃ lọ. Fíìmù náà ní ìwẹ̀nùmọ́ gíga àti agbára gbígbóná gíga.
Àwọn ohun èlò náà ní orísun ìtújáde ìtànṣán ìtànṣán elekitironi, orísun ion, ètò ìṣàyẹ̀wò ìwúwo fíìmù, ètò àtúnṣe ìwúwo fíìmù àti ètò ìyípo agboorun tó dúró ṣinṣin. Nípasẹ̀ ìbòrí orísun ion, ìpele ìwúwo fíìmù náà pọ̀ sí i, a ń mú kí àtọ́ka ìfàmọ́ra dúró ṣinṣin, a sì ń yẹra fún ìṣẹ̀lẹ̀ ìyípadà ìgbì omi nítorí ọrinrin. Ètò ìṣàyẹ̀wò ìwúwo fíìmù aládàáṣe tó nípọn lè rí i dájú pé iṣẹ́ náà ń tún ṣe àti pé ó dúró ṣinṣin. Ó ní iṣẹ́ yíyọ́ ara-ẹni láti dín ìgbẹ́kẹ̀lé àwọn òṣìṣẹ́ kù.
Àwọn ohun èlò yìí wúlò fún onírúurú oxides àti àwọn ohun èlò ìbòrí irin, a sì lè fi àwọn fíìmù optical onípele-pupọ bo, bíi fíìmù AR, lílọ gígùn, lílọ kúkúrú, fíìmù tó ń tànmọ́lẹ̀, fíìmù AS / AF, IRCUT, fíìmù àwọ̀, fíìmù gradient, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ. A ti lò ó dáadáa nínú àwọn gíláàsì AR, àwọn lẹ́ńsì optical, àwọn kámẹ́rà, àwọn lẹ́ńsì optical, àwọn àlẹ̀mọ́, àwọn ilé iṣẹ́ semiconductor, àti bẹ́ẹ̀ bẹ́ẹ̀ lọ.