Thiết bị này sử dụng công nghệ bay hơi chùm electron. Các electron được phát ra từ dây tóc catốt và được hội tụ thành một dòng điện nhất định, được gia tốc bởi điện thế giữa catốt và nồi nấu chảy để làm tan chảy và bay hơi vật liệu phủ. Thiết bị có đặc điểm mật độ năng lượng cao và có thể làm bay hơi vật liệu phủ có điểm nóng chảy trên 3000 ℃. Màng phim có độ tinh khiết cao và hiệu suất nhiệt cao.
Thiết bị được trang bị nguồn bay hơi chùm electron, nguồn ion, hệ thống giám sát độ dày màng, cấu trúc hiệu chỉnh độ dày màng và hệ thống xoay phôi dạng dù ổn định. Thông qua quá trình phủ màng có hỗ trợ nguồn ion, độ đặc của màng được tăng lên, chỉ số khúc xạ được ổn định và hiện tượng dịch chuyển bước sóng do độ ẩm được loại bỏ. Hệ thống giám sát độ dày màng tự động hoàn toàn theo thời gian thực đảm bảo tính lặp lại và ổn định của quá trình. Thiết bị được trang bị chức năng tự nóng chảy để giảm sự phụ thuộc vào kỹ năng của người vận hành.
Thiết bị này có thể áp dụng cho nhiều loại oxit và vật liệu phủ kim loại, và có thể phủ nhiều lớp màng quang học chính xác, chẳng hạn như màng chống phản xạ (AR), màng lọc sóng dài, màng lọc sóng ngắn, màng làm sáng, màng AS/AF, IRCUT, hệ thống màng màu, hệ thống màng chuyển sắc, v.v. Nó đã được sử dụng rộng rãi trong kính chống phản xạ, thấu kính quang học, máy ảnh, bộ lọc, ngành công nghiệp bán dẫn, v.v.