GX600

Thiết bị sử dụng cấu trúc cửa trước thẳng đứng và bố trí cụm. Có thể trang bị nguồn bốc hơi cho kim loại và các vật liệu hữu cơ khác nhau, có thể bốc hơi các tấm silicon có thông số kỹ thuật khác nhau. Được trang bị hệ thống căn chỉnh chính xác, lớp phủ ổn định và lớp phủ có khả năng lặp lại tốt.
Thiết bị phủ GX600 có thể làm bay hơi vật liệu phát sáng hữu cơ hoặc vật liệu kim loại lên bề mặt vật liệu một cách chính xác, đồng đều và có kiểm soát. Nó có ưu điểm là tạo màng đơn giản, độ tinh khiết cao và độ chặt cao. Hệ thống giám sát độ dày màng hoàn toàn tự động theo thời gian thực có thể đảm bảo tính lặp lại và tính ổn định của quy trình. Nó được trang bị chức năng tự tan chảy để giảm sự phụ thuộc vào kỹ năng của người vận hành.
Thiết bị có thể áp dụng cho Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti và các vật liệu kim loại khác, và có thể phủ màng kim loại, màng lớp điện môi, màng IMD, v.v. chủ yếu được sử dụng trong ngành công nghiệp bán dẫn, chẳng hạn như thiết bị điện, lớp phủ chất nền đóng gói phía sau bán dẫn, v.v.