Җиһазлар электрон нурлы парга әйләндерү технологиясен кулланалар. Электроннар катод җепселеннән чыгарыла һәм билгеле бер нурлы токка юнәлтелә, ул катод белән тигель арасындагы потенциал белән тизләтелә һәм каплау материалын эретә һәм парга әйләндерә. Ул югары энергия тыгызлыгы үзенчәлекләренә ия һәм 3000 ℃ тан артык эрү ноктасы белән каплау материалын парга әйләндерә ала. Пленка югары сафлыкка һәм югары җылылык нәтиҗәлелегенә ия.
Җиһазлар электрон нурлы парга әйләнү чыганагы, ион чыганагы, пленка калынлыгын күзәтү системасы, пленка калынлыгын төзәтү структурасы һәм тотрыклы зонтик эш кисәге әйләнү системасы белән җиһазландырылган. Ион чыганагы ярдәмендә каплау ярдәмендә пленканың компактлыгы арта, сыну күрсәткече тотрыклылана һәм дым аркасында дулкын озынлыгы күчеше күренеше булдырылмый. Тулы автоматик пленка калынлыгын реаль вакыт режимында күзәтү системасы процессның кабатланучанлыгын һәм тотрыклылыгын тәэмин итә ала. Ул операторның осталыгына бәйлелекне киметү өчен үз-үзен эрү функциясе белән җиһазландырылган.
Бу җиһаз төрле оксидлар һәм металл каплау материаллары өчен кулланыла, һәм күп катламлы төгәл оптик пленкалар белән капланырга мөмкин, мәсәлән, AR пленкасы, озын дулкын үткәрүчәнлеге, кыска дулкын үткәрүчәнлеге, яктыртучы пленка, AS / AF пленкасы, IRCUT, төсле пленка системасы, градиент пленка системасы һ.б. Ул AR күзлекләрендә, оптик линзаларда, камераларда, оптик линзаларда, фильтрларда, ярымүткәргечләр сәнәгатендә һ.б. киң кулланыла.