GX600

Theиһаз алгы ишек структурасын һәм кластер макетын кабул итә. Ул металллар һәм төрле органик материаллар өчен парлану чыганаклары белән җиһазландырылган, һәм төрле спецификацияле кремний вафаларын парга әйләндерә ала. Төгәл тигезләү системасы белән җиһазландырылган, каплау тотрыклы һәм каплау яхшы кабатлануга ия.
GX600 каплау җиһазлары субстратка органик яктылык җибәрүче материалларны яки металл материалларны төгәл, тигез һәм контрольдә тотып парга әйләндерә ала. Бу гади кино формалаштыру, югары чисталык һәм югары компактлылык өстенлекләренә ия. Реаль вакыттагы мониторинг системасының тулы автоматик калынлыгы процессның кабатлануын һәм тотрыклылыгын тәэмин итә ала. Операторның осталыгына бәйләнешне киметү өчен, ул үз-үзен эретү функциясе белән җиһазландырылган.
Theиһаз Cu, Al, Co, Cr, Au, Ag, Ni, Ti һәм башка металл материалларга кулланылырга мөмкин, һәм металл пленка, диэлектрик катлам пленка, IMD пленка һ.б. белән капланырга мөмкин, ул нигездә ярымүткәргеч тармагында кулланыла, мәсәлән, электр җайланмалары, ярымүткәргеч арткы упаковка субстрат каплау һ.б.