Bu cihaz, elektron ışınlı buharlaştırma teknolojisini kullanmaktadır. Katot filamanından yayılan elektronlar belirli bir ışın akımına odaklanır ve katot ile pota arasındaki potansiyel farkıyla hızlandırılarak kaplama malzemesi eritilir ve buharlaştırılır. Yüksek enerji yoğunluğu özelliğine sahip olup, erime noktası 3000 ℃'nin üzerinde olan kaplama malzemesini buharlaştırabilir. Elde edilen film yüksek saflıkta ve yüksek termal verimliliğe sahiptir.
Bu ekipman, elektron ışınlı buharlaştırma kaynağı, iyon kaynağı, film kalınlığı izleme sistemi, film kalınlığı düzeltme yapısı ve stabil şemsiye tipi iş parçası döndürme sistemi ile donatılmıştır. İyon kaynağı destekli kaplama sayesinde filmin yoğunluğu artırılır, kırılma indisi stabilize edilir ve nemden kaynaklanan dalga boyu kayması fenomeni önlenir. Tam otomatik film kalınlığı gerçek zamanlı izleme sistemi, işlemin tekrarlanabilirliğini ve kararlılığını sağlar. Operatörün becerilerine olan bağımlılığı azaltmak için otomatik erime fonksiyonu ile donatılmıştır.
Bu ekipman, çeşitli oksit ve metal kaplama malzemelerine uygulanabilir ve AR film, uzun dalga geçişli, kısa dalga geçişli, parlatıcı film, AS/AF film, IRCUT, renkli film sistemi, gradyan film sistemi vb. gibi çok katmanlı hassas optik filmlerle kaplanabilir. AR gözlüklerinde, optik lenslerde, kameralarda, filtrelerde, yarı iletken endüstrisinde vb. alanlarda yaygın olarak kullanılmaktadır.